മൈക്രോ-ചാനൽ ഹീറ്റ് എക്സ്ചേഞ്ചർ ഘടകങ്ങളുടെ വാക്വം ബോക്സ് ഹീലിയം മാസ് സ്പെക്ട്രം ചോർച്ച കണ്ടെത്തുന്നതിനുള്ള ഒരു പ്രത്യേക യന്ത്രമാണിത്. ഈ മെഷീനിൽ ഇവാക്വേഷൻ സിസ്റ്റം, വാക്വം ബോക്സ് ലീക്ക് ഡിറ്റക്ഷൻ സിസ്റ്റം, ഹീലിയം ക്ലീനിംഗ് സിസ്റ്റം, ഇലക്ട്രോണിക് കൺട്രോൾ സിസ്റ്റം എന്നിവ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു. മെഷീനിൽ സജീവമായ ഹീലിയം ക്ലീനിംഗ് ഫംഗ്ഷൻ ഉണ്ട്; ഉൽപ്പന്ന ഉൽ‌പാദന അളവ്, OK ഉൽപ്പന്ന അളവ്, NG ഉൽപ്പന്ന അളവ് എന്നിവ രേഖപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള പ്രവർത്തനം ഈ മെഷീനിലുണ്ട്.